嘉兴科民电子设备技术有限公司

科民 · 应用案例

原子层沉积(ALD)设备等高端半导体设备、全套半导体线的研发和生产

热烈祝贺科民电子20套集成电路设备成功进入厦门大学产教融合平台
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科民电子集成电路产教融合成套设备含曝光机、双腔ALD、PVD、ICP刻蚀机共20台
助力北大
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北京大学成功制备性能优越的碳纳米管CMOS器件。我们提供了关键的HfO2高k栅介质低温制备方案
热烈祝贺科民电子20套集成电路设备成功进入厦门大学产教融合平台
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科民 · 产品中心

原子层沉积(ALD)设备等高端半导体设备、全套半导体线的研发和生产

 刻蚀机ICP-100
刻蚀机ICP-100
刻蚀机ICP-100
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 刻蚀机RIE-100
刻蚀机RIE-100
刻蚀机RIE-100
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 磁控溅射台-PVD-100
磁控溅射台-PVD-100
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 双腔热型原子层沉积机TALD-D系列
双腔热型原子层沉积机TALD-D系列
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 365nmLED光源曝光机
365nmLED光源曝光机
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 超大批量生产型原子层沉积系统TALD-1000系列
超大批量生产型原子层沉积系统TALD-1000系列
超大批量生产型原子层沉积系统TALD-1000系列
生产型原子层沉积系统

走进科民

海外微电子设备制造团队与  中科院微电子所  8室专家共同成立

科民 · 新闻中心

原子层沉积(ALD)设备等高端半导体设备、全套半导体线的研发和生产

2022

10 09

为了培育选树具有行业顶尖技能水平的科技创新先进典型,大力弘扬劳模精神、劳动精神、工匠精神和科学家精神,进一步激发广大科技工作者建功立业的积极性、主动性和创造性,10月8日,中国科学院工会举办中国科学院第三届“科苑名匠”发布活动,全院共12个团队和7名个人被授予中国科学院第三届“科苑名匠”称号。科民电子董事长夏洋荣获中国科学院第三届“科苑名匠”称号。 夏洋老师长期专注于集成电路技术及装备研究,为微电子所仪器设备研发中心创始人、嘉兴科民电子设备技术有限公司董事长,带领研究团队瞄准国家战略需求,突破了多项关键核心技术。他在不断的努力与尝试中攻坚克难,在多项国家重大科技计划项目中承担微电子仪器设备的研发工作,成功开发出原子层沉积系统、浸没式等离子注入机、电感耦合等离子体刻蚀机、365纳米i线曝光机等集成电路装备,同时研发出原创变电场原子层沉积、吸附反应外延等装备,实现了我国集成电路高端设备的重大突破。研发的仪器设备在国内外科研单位销售超千台,有力的支撑了中科院、北京大学、清华大学等百余家高校院所的前沿科学研究,同时通过核心技术支持和促进了我国多家集成电路装备龙头企业的发展。作为一名老师,他为了能让学生更直观的了解和掌握微电子仪器操作方法,配套专业课程专门研发了集成电路系列科教融合设备,采用创新的“讲授+实验”教学模式,为集成电路工艺技术培养了大量的工程性专业人才。

2022

10 08

9月29日下午,嘉兴市副市长倪沪平莅临我司考察调研,市政府副秘书长王荣、市科技局、南湖区政府、嘉兴科技城相关领导陪同调研。科民电子研发部负责人明帅强、市场部负责人郭耀亮、生产部负责人陶晓俊等参加接待并陪同调研。

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