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精品案例

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助力北大
助力北大
北京大学成功制备性能优越的碳纳米管CMOS器件。我们提供了关键的HfO2高k栅介质低温制备方案
助力中科院上海技物所、武汉大学
助力中科院上海技物所、武汉大学
中国科学院上海技术物理研究所、武汉大学研究人员在Advanced Functional Materials上发表的关于浮栅结构二维材料光电探测器研究方面取得的进展文章节选。我们研发的TALD-200A型原子层沉积系统在该器件中完成了隧穿和阻隔氧化物的工作,成功助力该光电探测器的研发工作。(文章内的光电探测器的具有很低的背景载流子强度)
助力复旦
助力复旦
复旦大学成功研发世界首个半浮栅晶体管(SFGT),结果发表在《Science》,并有央视1套节目报道。我们提供了关键的栅隔离介质薄膜制备设备和工艺方案。
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