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嘉兴科民公司高端ALD力助复旦科学家实现重大原始创新
- 分类：公司新闻
- 发布时间：2012-10-20
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【概要描述】2013-08-12新闻联播：我国科学家实现微电子领域重大原始创新，复旦大学张卫团队成功研发半浮栅晶体管（SFGT），该结果发表在国际最权威的《科学》杂志上。
嘉兴科民公司高端ALD力助复旦科学家实现重大原始创新
【概要描述】2013-08-12新闻联播：我国科学家实现微电子领域重大原始创新，复旦大学张卫团队成功研发半浮栅晶体管（SFGT），该结果发表在国际最权威的《科学》杂志上。
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2013-08-12新闻联播：我国科学家实现微电子领域重大原始创新，复旦大学张卫团队成功研发半浮栅晶体管（SFGT），该结果发表在国际最权威的《科学》杂志上。半浮栅晶体管可在多类产业中应用，潜在市场规模达到300亿美元以上。更令国人振奋的是，半浮栅晶体管中关键栅隔离介质是在我国自主研发生产的仪器设备上成功完成的（嘉兴科民公司的ALD设备）。该设备由中科院微电子研究所夏洋团队研发成功（重大科技专项），与嘉兴科民电子公司联合进行开发生产，具有国际领先的性能，已销往北大、复旦、西安电子科大、南大等多家科研机构及出口美国。该成果表明我国在微电子领域已打破了我国在高端仪器设备受制于人的局面，具备自主开发高端设备，创造重大原创突破的能力。
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