科民电子集成电路科教融合全套设备助力教学模式创新
发布时间:
2022/03/25
科民电子集成电路科教融合全套设备助力教学模式创新
科民电子集成电路科教融合全套设备助力教学模式创新
3月24日，我司参加“国科雁栖科创沙龙”高端科学仪器国产化暨研产用实践路径研讨会，并做题为“集成电路教学创新模式”的报告。
报告中详细介绍了我司研发生产的国际首创集成电路科教融合全套装备主要包括：曝光机、高密度等离子体刻蚀机、反应离子刻蚀机、磁控溅射、原子层沉积、等离子体气相沉积等设备，具有安全可靠、可操作性强、低成本、易维护等特点，可实现从光刻到薄膜沉积的工艺教学与开发。
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