科民电子推出新一代ALD设备-固态源ALD
发布时间:
2022/04/02
嘉兴科民电子推出固态ALD设备，攻克低蒸气压下固态源难出源的难题。实验数据表明，固态ALD设备在沉积Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表现优异。
科民电子推出新一代ALD设备-固态源ALD
嘉兴科民电子推出固态ALD设备，攻克低蒸气压下固态源难出源的难题。实验数据表明，固态ALD设备在沉积Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表现优异。
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