2022/04/02
嘉兴科民电子推出固态ALD设备，攻克低蒸气压下固态源难出源的难题。实验数据表明，固态ALD设备在沉积Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表现优异。
2022/10/08
9月6日上午，晶科能源首席科学家王琪来嘉兴科民电子参观指导，微电子设备与仪器工程中心展厅、纳米薄膜技术重点实验室、国家发改委“双创”支撑平台项目——面向新一代半导体薄膜材料制备技术的装备与器件技术服务公共平台、集成电路产教融合创新平台。
