嘉兴科民电子设备技术有限公司

科民 · 应用案例

原子层沉积(ALD)设备等高端半导体设备、全套半导体线的研发和生产

热烈祝贺科民电子20套集成电路设备成功进入厦门大学产教融合平台
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科民电子集成电路产教融合成套设备含曝光机、双腔ALD、PVD、ICP刻蚀机共20台
助力北大
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北京大学成功制备性能优越的碳纳米管CMOS器件。我们提供了关键的HfO2高k栅介质低温制备方案
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 刻蚀机ICP-100
刻蚀机ICP-100
刻蚀机ICP-100
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 刻蚀机RIE-100
刻蚀机RIE-100
刻蚀机RIE-100
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 磁控溅射台-PVD-100
磁控溅射台-PVD-100
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 双腔热型原子层沉积机TALD-D系列
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 365nmLED光源曝光机
365nmLED光源曝光机
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 超大批量生产型原子层沉积系统TALD-1000系列
超大批量生产型原子层沉积系统TALD-1000系列
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生产型原子层沉积系统

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海外微电子设备制造团队与  中科院微电子所  8室专家共同成立

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