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国家重点研发计划颠覆性专项 “下一代集成电路二维材料大尺寸生长装备” 顺利通过验收

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自主创新再获认可|科民电子 TALD-200 原子层沉积装备获评嘉兴市首台(套)

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2026/10/16

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科民电子PEALE等离子体原子层刻蚀设备重磅亮相!

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2026/05/28

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科民12英寸ALD装备验证成功! 助力芯片制造自主可控

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2026/05/19

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【里程碑突破】嘉兴科民电子 12 英寸先进制程核心装备顺利通过验证

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2026/05/18

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科民超大面型ALD  单炉可放868片12吋晶圆

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2026/05/15

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