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科民ALD实现2.5s/cycle成膜

科民ALD实现2.5s/cycle成膜

  • 分类:公司新闻
  • 发布时间:2020-06-01
  • 访问量:0

【概要描述】科民电子具有匀气可更换双腔,1cycle时长缩减到2.5s

科民ALD实现2.5s/cycle成膜

【概要描述】科民电子具有匀气可更换双腔,1cycle时长缩减到2.5s

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  科民电子具有匀气可更换双腔,1cycle时长缩减到2.5s

 

 

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