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等离子增强型(PEALD)原子层沉积系统

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等离子增强型(PEALD)原子层沉积系统

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参数

  OLED制备技术的研究是集多领域、多学科的综合性学术研究,它涵盖了半导体、化学、薄膜电子、真空物理、光学等。OLED广阔的发展前景也激活了国内各高校、研究所的科研工作者的热情。嘉兴科民电子针对OLED研究领域新开发了OLED系列等离子增强原子层沉积系统,为广大OLED领域的研究者提供了一整套的实验操作平台和解决方案。

 

  该系统集成了红外同步原位监测仪和质谱仪,可以对薄膜生长过程中的环境气氛、金属源及非金属源的状态以及产物进行原位实时监测。使研究人员可以直观的把握薄膜的生长质量,减小实验操作的误差,缩短整个实验的时间长度。

 

 

  为了保证整个实验过程中的薄膜质量,保证薄膜不受环境中水氧的腐蚀。该系统设计中将等离子增强原子层沉积系统的腔室与手套箱直接联通,保证实验全过程全部处于无水无氧的干燥条件下进行,保持OLED器件处于最佳的性能状态。

 

 

  同时该系统可以灵活的集成其他OLED制备仪器,如:蒸发台、匀胶机等实验设备。确保在实验过程中,将样品的转移和存放过程中周围环境的影响减到最小。
  嘉兴科民电子在开发OLED系列PEALD设备的同时,也同步研究OLED的封装技术。目前水氧阻隔的封装薄膜技术已经具有初步成果,期待与您分享OLED制造工艺中的每一次发现和进步。

 

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