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科民电子推出新一代ALD设备-固态源ALD
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科民电子推出新一代ALD设备-固态源ALD

  • 分类:公司新闻
  • 发布时间:2022-04-02
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【概要描述】嘉兴科民电子推出固态ALD设备,攻克低蒸气压下固态源难出源的难题。实验数据表明,固态ALD设备在沉积Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表现优异。

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科民电子推出新一代ALD设备-固态源ALD

【概要描述】嘉兴科民电子推出固态ALD设备,攻克低蒸气压下固态源难出源的难题。实验数据表明,固态ALD设备在沉积Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表现优异。

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科民电子推出新一代ALD设备-固态源ALD

嘉兴科民电子推出固态ALD设备,攻克低蒸气压下固态源难出源的难题。实验数据表明,固态ALD设备在沉积IrFeCoNiCuRuLaSr等薄膜上表现优异。

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