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晶科能源首席科学家王琪来科民电子参观指导
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晶科能源首席科学家王琪来科民电子参观指导

  • 分类:公司新闻
  • 发布时间:2022-10-08
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【概要描述】9月6日上午,晶科能源首席科学家王琪来嘉兴科民电子参观指导,微电子设备与仪器工程中心展厅、纳米薄膜技术重点实验室、国家发改委“双创”支撑平台项目——面向新一代半导体薄膜材料制备技术的装备与器件技术服务公共平台、集成电路产教融合创新平台。

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晶科能源首席科学家王琪来科民电子参观指导

【概要描述】9月6日上午,晶科能源首席科学家王琪来嘉兴科民电子参观指导,微电子设备与仪器工程中心展厅、纳米薄膜技术重点实验室、国家发改委“双创”支撑平台项目——面向新一代半导体薄膜材料制备技术的装备与器件技术服务公共平台、集成电路产教融合创新平台。

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   9月6日上午,晶科能源首席科学家王琪来嘉兴科民电子参观指导,微电子设备与仪器工程中心展厅、纳米薄膜技术重点实验室、国家发改委“双创”支撑平台项目——面向新一代半导体薄膜材料制备技术的装备与器件技术服务公共平台、集成电路产教融合创新平台。

 

  科民电子负责人夏洋老师向王琪介绍了工程中心和公司人才团队引进和培育情况、团队主要研究领域、长三角双创示范基地联盟集成电路专业委员会运行情况及“双创”支撑平台建设情况。工程中心和科民电子公司研发部负责人名帅强、市场部负责人郭耀亮就主导产品原子层沉积(ALD)系统、物理气相沉积(PVD )系统、反应离子刻蚀(RIE)系统等的研发生产情况、核心竞争力、应用场景、市场占有率等进行详细讲解。

                                

  晶科能源首席科学家王琪表示,ALD是革命性的技术,在太阳能电池组件方便具有不可替代的作用,双方可发挥各自优势,进行深度合作。

  嘉兴科民电子设备技术有限公司是中国科学院微电子研究所在嘉孵化的高端装备制造企业,主要从事原子层沉积(ALD)设备、集束型薄膜沉积系统(Cluster System)、紫外 LED 光刻机(Lithography)、反应离子刻蚀机(RIE)等高端半导体设备的研发和生产。公司所研发的集成电路高端装备应用于尖端科技,助力客户进行高尖端科学研究,客户包括清华大学、北京大学、复旦大学、中科院半导体研究所等国内科研单位。

  产品成功通过大型微电子、MEMS 制造企业产线验证,成功应用于高新产业,成为国内知名企业主力产品线ALD 工序唯一设备供应商,是国内首个进入大批量制造产业化市场的原子层沉积机型,打破了进口设备在产业化市场垄断地位,成功应用到中芯国际、杭州士兰微、北方夜视,协鑫纳米等企业。

 

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